由于潔凈室樹立費用很高且不同潔凈等級的樹立費用相差較大，因而，在潔凈室設計過程中，設計師不只需要合理安置工藝設備以盡量削減潔凈區(qū)的面積，而且也要針對不同的消費環(huán)節(jié)設置不同的潔凈等級。目前，12英寸集成電路芯片制作工廠普遍選用"開放式潔凈室加微環(huán)境"的方法，將芯片制作過程中對空氣潔凈度懇求十分嚴厲的硅片加工過程安置在1級-4級的微環(huán)境裝置內(nèi)，而開放式潔凈室的潔凈度等級只需5級-6級，這樣就有效地降低了樹立/運營出資以及能耗。潔凈廠房的建筑要求和施工標準：

1. 潔凈工程結(jié)構(gòu)材料

   （1）潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

   （2）地面采用環(huán)氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。

   （3）凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

   （4）高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。

2. 2.技術參數(shù)換氣次數(shù)：十萬級10-15次/小時；萬級15-25次/小時；千級50-52次/小時；百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s；壓差：主車間對相鄰潔凈房間≧5Pa；潔凈房間對非潔凈區(qū)≧10Pa；溫度：冬季＞16度正負2度；夏季＜26度正負2度；

3. 潔凈廠房相對濕度：45-65%(RH)；噪音≦65dB(A)；新風補充量：總送風量的20%-30%；照度：≧300Lux在我國，潔凈廠房的能源耗費是相當大的。能源耗費首要用于消費設備用電和用熱、凈化空調(diào)體系的耗電/耗熱和冷負荷、冷凍機組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和保送以及共用設備和照明的用電等。為抵達潔凈室懇求的空氣潔凈度等級，潔凈室的循環(huán)風量很大。一般空調(diào)房間的每小時換氣次數(shù)只需求幾次，而潔凈室每小時換氣次數(shù)抵達10次~600次。

一個好的凈化工程，不僅有好的規(guī)劃布局、高的操作標準，更要有可靠的工程團隊、高效的施工進度。選擇專業(yè)的廠房裝修公司，經(jīng)費就花對了一大半。

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